波前传感器是一种用于测量光学波前的计量工具。虽然“波前传感器"一词涵盖各种仪器，但它具体指独立运行而不需要参考光束的波前测量设备，例如 Fizeau 或 Twyman-Green 干涉仪。制造波前传感器的主要技术是 Shack-Hartmann 和横向剪切干涉法。Phasics 的波前传感器基于四边形剪切干涉技术。
一、SID4 UV波前传感器介绍
SID4 UV 具有低至 190 nm 的高分辨率波前感应功能，非常适合紫外光学测试、紫外激光表征(用于光刻或半导体应用)以及镜头和晶圆的表面检查。
● 非常高的分辨率 – 250 × 250 采样
● 高灵敏度 – 2 nm RMS
● 经济实惠的紫外波前测量解决方案
二、SID4 UV波前传感器参数
| 型号 | SID4 UV |
| 品牌 | Phasics |
| 波长 | 190 - 400 nm |
| 靶面 | 7.8 x 7.8 mm² |
| 空间分辨率 | 26 µm |
| 相位和强度采样 | 300 x 300 |
| 采集率 | > 15 fps |
| 分辨率（相位） | 2 nm RMS |
| 准确度 | 15 nm RMS |
| 实时处理频率 | 2 fps (full resolution)* |
| 接口 | Giga Ethernet |
| 尺寸(WxHxL) | 74 x 71 x 91 mm³ |
| 重量 | ~600g |
三、应用
激光行业
半导体
天文学
航空航天
AR/VR
SID4 UV经济型高分辨率紫外波前传感器Phasics
SID4 UV经济型高分辨率紫外波前传感器Phasics
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